紫外臭氧清洗機(jī)的特點(diǎn)知多少？
紫外臭氧清洗機(jī)是一款小型紫外臭氧清洗設(shè)備，可用于清洗各種單晶基片，以保證更好的成膜質(zhì)量。同時(shí)也可去除光刻膠、改善材料表面潤(rùn)濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。提供了一種無(wú)酸、干燥對(duì)材料無(wú)損傷的原子級(jí)別的清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長(zhǎng)的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長(zhǎng)的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。適用小型基片清洗，如液晶面板，ITO導(dǎo)電膜玻璃，光學(xué)玻璃，OLED，LCD，硅片，陶瓷，金屬片，聚合物，硅膠等表面清洗，用于清洗產(chǎn)品的表面有機(jī)物，即進(jìn)行表面改質(zhì)，從而獲得較好的親水性，
紫外臭氧清洗機(jī)可提供客戶(hù)化設(shè)計(jì)。
特性：
.間歇式燈泡工作方式。燈和定時(shí)器通過(guò)關(guān)閉門(mén)來(lái)觸發(fā)。
.滑行部件托盤(pán)－光滑－低震動(dòng)，滾珠軸承系統(tǒng)－高度到1.5英寸。
.堅(jiān)固耐用，全部不銹鋼結(jié)構(gòu)。
.長(zhǎng)壽命。低壓石英水銀蒸汽燈發(fā)射254nm和185nmUV，促進(jìn)快速氧化，去除微量的有機(jī)殘留物。
.全面UV保護(hù)讓設(shè)備操作更安全。
.更低設(shè)備采購(gòu)成本和操作成本。
.0-999秒/分鐘/小時(shí)定時(shí)器，能夠精確控制。燈和定時(shí)器通過(guò)門(mén)關(guān)閉來(lái)觸發(fā)。
.臭氧排氣護(hù)罩：托盤(pán)型號(hào)有一個(gè)臭氧護(hù)罩，可以允許清潔設(shè)備放在你的生產(chǎn)線或是設(shè)備，和過(guò)程相關(guān)設(shè)備放在一起。這會(huì)使得材料的再污染小化。一個(gè)3英寸排氣出口內(nèi)置在護(hù)罩的后面，可以連接到紫外臭氧清洗機(jī)的排氣系統(tǒng)。沒(méi)有提供排氣風(fēng)扇。
